电子束加工具有以下的特点：
1）能量密度高 电子束聚焦点范围小，能量密度高，适合于加工精微深孔和窄缝等。且加工速度快，效率高。
2）工件变形小 电子束加工是一种热加工，主要靠瞬时蒸发，工件很少产生应力和变形，而且不存在工具损耗。适合于加工脆性、韧性、导体、半导体、非导体以及热敏性材料。
3）加工点上化学纯度高 因为整个电子束加工是在真空度1.33×10－2～1.33×10－4 Pa的真空室内进行的，所以熔化时可以防止由于空气的氧化作用所产生的杂质缺陷。适合于加工易氧化的金属及合金材料，特别是要求纯度极高的半导体材料。
4）可控性好 电子束的强度和位置均可由电、磁的方法直接控制，便于实现自动化加工。
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