扩散硅压力传感器选型须知

利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。

选型须知

1、 传感器、变送器的选择

用户根据自己所测压力的性质，首先应确定选择表压(相对于当地大气压)、差压、绝对压力或负压品种。如果测量液位，还要确定液位上方是自由大气压还是密封容器压力。如果测量密封承压容器内的液位就应该选用差压产品。

2、 产品量程的确定

从产品绝对安全考虑，一般选择使工作压力值在标准量程值的60%-80%为宜，整个测量系统中可能出现的异常情况所导致的过载压力不得超过产品允许的最大过载。测量动态管路液体压力时，还应考虑水垂效应，适当增大产品载量。

3、 产品精度选择

产品等级按多项参数分档，档级越高，价格越贵。用户可依据所检测工况要求各项和某单项参数精度指标，以便用较低的价格实现较高的精度要求。产品给出的三项精度指标是采用国际最小二乘法或端基平移法计算的。选用传感器时，精度等级确定应根据测量系统分配发给传感器的最大误差选项取。有时还应考虑零位时漂、零位和满度温度系数带入的附加误差。

4、 选择产品的使用温度范围

有些系列的变送器在组装了电路后又进行了综合温度补偿。补偿范围在单项产品介绍中已标出。对于使用温度范围宽而又要求总精度高的用户，还可在二次仪表数据处理中采用软件执行温度误差修正。超过补偿区使用，温度系数指标可能会超标，但仍可使用。长期在温度极限区工作，产品寿命将大大缩短。

5、 差压传感器、变送器的选择

通用差压传感器、变送器通常使用在高压端压力高于低压端压力的正差压情况下，虽然扩散硅传感器都可同样用于负差压，一般两引压端基本对称，但负压端一般不另标定，如用户要求两引压端高对称性，需特别告知。低压端在系统中有可能出现的超负量程使用。

6、频响特性

扩散硅传感器固有频率相对于其它产品较高，除此之外更多的情况是传感器结构的引压腔结构参数影响和传感器结构基体刚体的尺寸影响，后者不可能不限长，故主要还是引压腔影响。

7、与被测介质的匹配

传感器、变送器接囗和电子壳体由多种不同的结构材料生产。具有不同的介质兼容性，为了获得最优的使用效果，不致因介质不匹配而使产品损坏，用户在选型定货时应明白介质的准确名称、浓度、温度。

产品安装使用注意事项

螺纹连接的产品在安装和拆卸时，必须用扳手紧六方操作，安装时不能拧的过紧，严禁夹持其它部位安装、拆卸，避免损坏相关联结部件。引压孔端不得有尖硬物伸入，以免损毁敏感膜或隔离膜，严禁敲打、撞击、摔跌。

扩散硅传感器零位输出不能直接采用单臂联电阻法进行消除，可采用软件归零法、差动输入修整法、T型电阻网络修正等。

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• 2016-10-23扩散硅压力传感器选型须知