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传感器
电容式传感器的灵敏度及非线性
2016-12-19 14:18:33 | 人围观 |
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单级变隙电容的相对变化量为:
非线性误差为:
结论:要提高灵敏度,应减小d0,但非线性误差却增大
差动式结构:
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电容传感器的等效电路
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