光栅由标尺光栅和指示光栅组成,两者的光刻密度相同,但体长相差很多,其结构如图1所示。 图1 光栅测量原理 指示光栅上出现莫尔条纹,它们是沿着与光栅条纹几乎成垂直的方向排列的,如图2所示。 图2 莫尔条纹示意 光栅莫尔条纹的特点是起放大作用,用W表示条纹宽度,P表示栅距,θ表示光栅条纹间的夹角,则有 光栅测量系统的基本构成如图3所示。 图3 光栅测量系统 1.感应同步器 (1)直线感应同步器 由定尺和滑尺两部分组成。 滑尺表面刻有两个绕组,即正弦绕组和余弦绕组,见图4。 图4 感应同步器原理图 (2)圆盘式感应同步器 如图5所示,其转子相当于直线感应同步器的滑尺,定子相当于定尺,而且定子绕组中的两个绕组也错开1/4节距。 图5 圆盘式感应同步器 感应同步器根据其激磁绕组供电电压形式不同,分为鉴相测量方式和鉴幅测量方式。 (1) 鉴相式 根据感应电势的相位来鉴别位移量。 图6说明了感应电势幅值与定尺和滑尺相对位置的关系。 图6 滑尺绕组位置与定尺感应电势幅值的变化关系 滑尺在定尺上每滑动一个节距,定尺绕组感应电势就变化了一个周期,即 eA=Ku |